エッチングレスで高精細な銅回路パターンを作成

フッ素系ラジカルによるドライ表面処理により、接触角120°以上を実現できます。
また、撥水処理面に対して、真空プラズマ、大気圧プラズマ、UV処理等により簡単に親水パターンを作ることができます。
 
下の写真は、PETフィルムに撥水処理をした後、紫外線とフォトマスクで親水化パターン(接触角10°)を形成し、その面に銅の無電解めっき(0.4μm厚)を施したサンプルの写真です。
 
エッチングレスでL/S 5μm以下を実現できています。

 

なお、初めて作成したサンプルのため、作成条件はまだ最適化できておりません。

 

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