L2R2真空装置
Load-Lock Roll-Roll真空装置
弊社独自の機構により、従来の真空R-Rプロセスの課題を解決しました。
- 巻出／巻取ユニットを「カセット」としてチャンバ内に装填。
- ローディング室とプロセス室（および案ローディング室）の各チャンバを大型ゲートバルブで連結
- 各チャンバを独立して制御することにより、プロセスチャンバで基材を処理している間に次の基材のローディングと乾燥および処理済基材の案アンローディングが可能。
- 上記機構により装置の稼働率が上がり、設備費や人件費を削減できる。
- プロセスチャンバは常に大気から分離されており、清浄な真空を維持できる。
- プラズマ源には、マグネトロンタイプの他にＩＣＰタイプも選べる。
- オプションでローディングチャンバへのQｰMassおよびプロセスチャンバへのプラズマ分光器を設置可能。
- 基材幅は最大300mm、搬送速度は1m／min～50m/min
- その他、個別仕様への対応可能。
- 弊社現有設備の現状販売も検討します。
弊社保有２チャンバーＬ２Ｒ２真空装置