Hollow Cathode Plasma
従来よりも高真空中で高密度なプラズマを実現！
- 従来よりも高真空で
Hollow CathodeとMagnetronの両プラズマ生成原理を融合することにより、１０^-2Pa台での高密度プラズマを実現。
- 既存の設備にAdd On
コンパクトなヘッド設計で省スペース対応し、広幅シート状プラズマを生成。複数並べることで数ｍ幅にも対応可能。
- 直流で安定かつ長寿命
直流（パルス無し）でも安定な100%酸素プラズマを生成。電極は参加およびスパッタ消耗しにくい合金を使用。
ＨＣＭプラズマヘッド３００ｍｍ幅プロト機
蒸着装置内での動作状態
酸素プラズマの発光スペクトル。分子上酸素よりも活性な原子状酸素からの緑と赤の発光により黄色の発光が見られる。