メッシュパターンで線幅５μｍを確認できました！

フッ素系ラジカルによるドライ表面処理により、接触角１２０°以上を実現できます。
また、撥水処理面に対して、真空プラズマ、大気圧プラズマ、ＵＶ処理等により簡単に親水パターンを作ることができます。
 
下の写真は、ＰＥＴフィルムに撥水処理をした後、紫外線とフォトマスクで親水化パターン（接触角１０°）を形成し、その面に銅の無電解めっき（０．４μｍ厚）を施したサンプルの写真です。
 
エッチングレスでＬ／Ｓ ５μｍ以下を実現できています。

なお、初めて作成したサンプルのため、作成条件はまだ最適化できておりません。