スパッタサンプルの試作

ターゲットが小型のため、試作費用と期間を節約できます。 

(1)ロール・ツー・ロール方式による5cm×100mのロールサンプル作成

(2)10cm×10cmのバッチ式装置によるサンプル作成

                          →スパッタ装置の写真はこちら