2/20 【Electronic Journal 第1125回 Technical Seminar】

      (2012年2月20日・東京・主催:(株)電子ジャーナル)

     「ドライコーティング技術の最新動向徹底解説」をテーマに、

     スパッタリング技術を中心に、ドライコーティングの基礎、スパッタリングプロセス、

     アウトガス対策、合金および化合物のスパッタ、CVDの特徴や新たな可能性に

     ついて解説しました。