プラズマ装置

株式会社イー・エム・ディー

高密度低ダメージプラズマを実現する独自のＩＣＰ型プラズマ源を製造販売している。その他、これを活用したＣＶＤ装置と、スパッタ装置などの製造販売やＤＬＣコーティングやゴムの表面処理などへも展開されています。