株式会社イー・エム・ディー
高密度低ダメージプラズマを実現する独自のICP型プラズマ源を製造販売している。その他、これを活用したCVD装置と、スパッタ装置などの製造販売やDLCコーティングやゴムの表面処理などへも展開されています。
http://www.emd.co.jp/
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