| ロードロック式Ｒ－ＲラジカルＣＶＤ装置 |
| フィルム幅 | ３００ｍｍ |
| フィルム長 | ３００ｍ |
| ラジカル源電力 | ２ｋＷ |
| プロセスモニタ | ＱＭＡＳ、ＯＥＳ |
| ロール・ツー・ロール式スパッタ |
| フィルム幅 | １１０ｍｍ |
| フィルム長 | １００ｍ（厚み５０μmの場合） |
| ターゲットサイズ | ５６ｍｍ×１０６ｍｍ |
| バッチ式スパッタ |
| フィルムサイズ | １０ｃｍ×１０ｃｍ |
| ターゲットサイズ | ３インチ |