スパッタリング薄膜の基礎と制御技術について講演しました!
8/28 「スパッタリング薄膜の基礎と制御技術〜具体的なトラブル対策を含めて〜」
(2019年8月28日・主催:株式会社TH企画セミナーセンター)
ドライコーティングのメリット、なぜ真空装置が必要なのか、膜ができる仕組み、
原子、分子の作り方、膜質の調整方法、プロセスのモニタの方法と意義、
膜の評価と設計、スパッタプロセスの定性的説明、スパッタプロセスの定量的説明、
roll to rollドライコーティングの課題、など
スパッタリング薄膜の基礎と制御技術について講演しました。