６／９　「スパッタリング・蒸着膜の基礎から膜質向上法・ありがちなトラブル対策」

　　　　（2017年6月9日・東京・主催：株式会社情報機構）

　　　　スパッタリング・蒸着薄膜の基礎から膜質向上法・ありがちなトラブル対策

　　　　までを解説しました。

　　　　　内容：なぜドライコーティングなのか？、なぜ真空装置が必要なのか？、

　　　　　膜ができるしくみ、原子、分子の作り方、スパッタの原理と膜質の調整方法、

　　　　　roll to rollドライコーティングの課題、基材からのアウトガス対策、

　　　　　プロセスのモニタの方法と意義、膜の評価と設計、など