スパッタリング・蒸着プロセスについて講演しました! 7/5 「スパッタリング・蒸着プロセスの基礎とトラブル対策」 (2017年7月5日・東京・主催:株式会社日本テクノセンター) スパッタリング・蒸着プロセスの基礎を解説すると共に、生産現場でのトラブル解決の ヒントになるよう、実際の生産プロセスでみられるトラブルの対策のために解説してきた 事例を盛り込みました。