スパッタリング・蒸着薄膜について講演しました!

2/12 「スパッタリング・蒸着薄膜の基礎から膜質向上法・ありがちなトラブル対策」

     (2016年2月12日・東京・主催:株式会社情報機構)

     スパッタリング・蒸着薄膜の基礎から膜質向上法・ありがちなトラブル対策まで

     解説しました。

     内容:なぜドライコーティングなのか?、なぜ真空装置が必要なのか?、

     膜ができるしくみ、原子、分子の作り方、スパッタの原理と膜質の調整方法、

     roll to rollドライコーティングの課題、基材からのアウトガス対策、

     プロセスのモニタの方法と意義、膜の評価と設計、など