スパッタリング・蒸着薄膜について講演しました!
2/12 「スパッタリング・蒸着薄膜の基礎から膜質向上法・ありがちなトラブル対策」
(2016年2月12日・東京・主催:株式会社情報機構)
スパッタリング・蒸着薄膜の基礎から膜質向上法・ありがちなトラブル対策まで
解説しました。
内容:なぜドライコーティングなのか?、なぜ真空装置が必要なのか?、
膜ができるしくみ、原子、分子の作り方、スパッタの原理と膜質の調整方法、
roll to rollドライコーティングの課題、基材からのアウトガス対策、
プロセスのモニタの方法と意義、膜の評価と設計、など